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一、产品简介
AGP21 系列是一款高精度电容式薄膜真空规，膜片因压力变化而发生弹性偏移，偏移量的变化引起电容量的变化，最后由数字电路测量并转换成输出信号。AGP21 系列使用了 Inconel 材料，可耐受腐蚀性工艺介质，具有精度高、响应时间快、长期稳定等特点，满足当今关键工艺控制的应用需求。AGP21 系列支持 Pa、Torr、mbar 三个常用单位的切换，配备了标准的 KF16 压力接口，可根据需要选配不同的转接件，确保与各种设备和系统的无缝对接。出厂前对 AGP21 系列的精度、重复性、响应时间等指标均进行严格的测试。
二、产品特点
• 15~30VDC电源供电
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