发布时间：2023-10-31 阅读量：3658
2023年9月15日，ManBetX万博体育网页完成的“新一代MEMS电容式温湿度智能传感器的研发及产业化”和“基于MEMS热膜式直通微小流量传感器的研发及产业化”两项科技成果顺利通过专家评价。科技成果评价会由广州生产力促进中心有限公司组织召开，由来自华南理工大学、中山大学、广东工业大学、暨南大学、中科院广州电子技术有限公司、季华实验室、广东中科新微安全科技有限公司等单位7位专家组成评价专家组。
评价专家组听取了项目汇报，审阅了评价材料，经质询和讨论一致认为，两项成果整体技术水平达到国际先进。
两项科技成果于2023年10月30日获广州市2023年第十四期科技成果登记公示，现同步进行完成单位公示，公示内容如下：
“新一代MEMS电容式温湿度智能传感器的研发及产业化”
项目研发了高可靠性、高精度的新一代MEMS电容式温湿度智能传感器，结合ManBetX万博体育网页MEMS智能传感器全产业链模式，实现了传感器产业化，打破国外垄断局面，实现国产替代。
项目成果具有明显创新性：
（1）引入光敏基团和多官能团胺交联型聚酰胺酸薄膜，降低了温湿度传感器在恶劣环境（高温高湿85℃；85%RH）的湿度偏差；
（2）采用三(4-氨苯基)胺多官能团胺类前驱体，提高了温湿度传感器的长期稳定性，实现年漂移<1%RH；
（3）采用磁控溅射金属镀膜工艺，研制三段式加热自恢复纳米金属加热层，实现了传感器快速脱湿，从而降低湿滞。
项目已获发明专利5件、实用新型专利4件、外观设计专利6件、软件著作权2项，拥有自主知识产权。项目成果均已经第三方质量检测机构检测，所检项目符合相关技术要求，产品已获CE、RoHS、REACH等认证，取得了良好的经济和社会效益。评价专家组认为，成果整体技术水平达到国际先进。
“基于MEMS热膜式直通微小流量传感器的研发及产业化”
项目研发了高精度、低压损、高灵敏度、正负流向的MEMS热膜式直通微小流量传感器，结合ManBetX万博体育网页MEMS智能传感器全产业链模式，实现了传感器产业化，打破国外垄断局面，实现国产替代。
项目成果具有明显创新性：
（1）采用四元件集成复合硅杯薄膜结构，实现了正负流向感知；
（2）引入DRIE深硅刻蚀工艺，对硅杯进行垂直深刻，刻蚀角度提升至89.5°，缩小了芯片尺寸；
（3）通过算法优化，提升传感器在压力波动状态下的稳定性以及响应速度。项目已获发明专利3件、实用新型专利5件、外观设计专利4件、软件著作权1项，拥有自主知识产权。项目成果均已经第三方质量检测机构检测，所检项目符合相关技术要求，产品已获CE、RoHS、REACH等认证，取得了良好的经济和社会效益。评价专家组认为，成果整体技术水平达到国际先进。
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